Oral Presentation

基于瑞奇-康芒检测的大口径平面镜抛光

Author(s): 武兆平，中科院南京天文仪器有限公司

Presenter: Zhaoping Wu (中科院南京天文仪器有限公司)

平面镜常作为标准器具用于光学系统的自准检验，对其面形误差精度有很高的要求，同时也需要有高精度的检测手段来完成面形检测。对于大口径平面镜，利用了瑞奇-康芒检测方法进行加工。首先根据瑞奇-康芒检测原理，分析了系统波像差与平面镜面形误差之间的转换关系，采用多项式来拟合平面镜面形误差，仿真分析了算法的检测精度。搭建了大型平面镜瑞奇-康芒检测光路，使用的标准球面镜口径为2.7m，曲率半径为25m，两个方向的检测角度分别为56°和44°，可以完成2.5m口径及以下平面镜的加工。前期刀口大误差量阶段采用单轴机+机械臂CCOS同步抛光方式，通过图像识别技术构造刀口检测下的全域面形误差。精抛光阶段由机械臂小磨头进行确定性加工，并根据实际面形分离POWER分层分频加工，大幅提升了加工效率。针对2m以上镜面，采用多机械臂协作及分区域加工模式。最终面形抛光精度RMS可达到1/40波长以上，加工周期在3个月以内。